School of Mechatronics Engineering and Automation Shanghai University Shanghai, China;
squeeze film; air damping; MEMS;
机译:具有边界效应的MEMS器件挤压膜空气阻尼模型的有效性
机译:具有边界效应的MEMS器件挤压膜空气阻尼模型的有效性
机译:在自由分子状态下对多孔MEMS结构的挤压膜阻尼的数值分子动力学方法
机译:平面MEMS结构上挤压空气阻尼的分析
机译:用传输线模型分析平面EBG结构。
机译:具有差分隧道磁阻传感结构的基于MEMS的陀螺仪的设计分析和仿真
机译:包含稀疏效应的基于MEMS的结构中挤压膜阻尼的数值研究