一种变阻尼MEMS陀螺敏感结构测试装置

摘要

本发明公开一种变阻尼MEMS陀螺敏感结构测试装置，包括真空腔体，真空腔体内设有MCU模块、信号源、信号采集卡、探针台与探针卡；探针台用于承载待测试的MEMS陀螺敏感结构；探针台底部设有加热冷却台；真空腔体外设有显微镜、探针台控制器、上位机、抽真空机、制冷机与加热冷却控制器；上位机控制抽真空机对真空腔体抽真空，改变真空腔体的真空度；上位机通过加热冷却控制器控制加热冷却台，对探针台加热或冷却；使待测试的MEMS陀螺敏感结构同时处于变阻尼与变温的环境下，对MEMS陀螺敏感结构进行驱动频率、敏感频率、谐振频率、Q值等参数的测试，根据测试结果研究空气阻尼和热应力两个方面对MEMS陀螺敏感结构的影响。