Site selection considerations for scanning and transmission electron microscopes

机译：扫描和透射电子显微镜的选址注意事项

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Abstract: Environmental factors must be controlled including floor vibration, acoustic level and magnetic field when choosing a site for an electron microscope. A systematic procedure for selecting a site from possible candidates is presented in this paper.!0

机译：摘要：在选择电子显微镜的位置时，必须控制环境因素，包括地板振动，声级和磁场。本文介绍了一种从可能的候选人中选择地点的系统程序。0

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来源
《Vibration Control in Microelectronics, Optics, and Metrology》|1991年|p.214-218|共5页
会议地点 San Jose CA(US)
作者
Wayne Vogen; Vibration Engineering Consultants; Inc.; Oakland; CA; USA.;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类一般工业技术;
关键词
入库时间 2022-08-26 13:45:51

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