一种用于扫描电子显微镜的观察扫描透射像的装置

摘要

本实用新型公开了一种用于扫描电子显微镜上观察扫描透射像的装置。该装置由一个中空的石墨圆柱体和一个反射透射电子的金属箔及支撑构成。圆柱体顶端下凹部位放样品，下端有一个向侧面开的圆孔，其内部中心有一个与水平夹45°角的金属箔，金属箔倾斜面向圆孔。入射电子束穿过样品照射在金属箔上产生的二次电子和背散射电子从圆孔出射。利用扫描电镜中已有的二次电子检测器接收经转换的扫描透射信号，无需改动扫描电镜即可观察扫描透射像，还可进行薄样品的电镜能谱分析。本装置结构简单，成本低。