透射电子显微镜与扫描电子显微镜一些故障分析及处理

摘要

透射电镜是以波长极短的电子束作照明源,用电磁透镜聚焦放大成像的一种具有高分辨率、高放大倍数的电子光学仪器。随着科学技术和生产实践的发展,十年来商品电镜型号繁多、高性能多用途透射电镜不断出现。从1977年以来我国从荷兰飞利浦公司引进了 EM 系列电镜,SEM 扫描电镜六十来