National Laboratory of Solid State Microstructures Department of Physics Nanjing University, Nanjing, 210093, People's Republic of China;
nanomold; multilayer-thin film technique; etching;
机译:全氟三氯硅烷防粘层的降解:对模具清洁,紫外线-纳米压印和粘结式紫外线-纳米压印模具的影响
机译:抗反射性聚合物薄膜通过卷辊辊UV纳米压印光刻使用AAO模具
机译:高钛浓度的TiO 2 sub> -SiO 2 sub>光固化材料对CF 4 sub> / O 2 sub>蚀刻选择性的纳米压印
机译:通过选择性蚀刻多层薄膜制备20nm线宽纳米视模
机译:通过在多孔氧化铝载体上沉积新型聚合物薄膜而制备的选择性超薄膜皮。
机译:含氟聚合物涂层PET薄膜的柔性UV纳米压印模具的制造
机译:薄膜流变学的研究-用于纳米压印的新型柔性模具