Genus, Inc. Sunnyvale, CA 94089;
机译:超薄氧化Ha栅极介电膜的热性能
机译:掺氮铝酸Ha(HfAlON)栅极电介质的膜组成对高温退火对结构转变和电性能的影响
机译:热生长SiN的超薄硅基介电膜的电性能测定。
机译:用于超薄介电膜的工程化钽铝酸铝和铪铝酸铝膜,具有改善的电气和热性能
机译:用于替代栅极电介质应用的超薄硅酸ha薄膜的工艺开发,材料分析和电学表征。
机译:ALD沉积La2O3 / Al2O3叠层和LaAlO3介电薄膜的电学性能研究
机译:Nd:YAG激光辅助氧化生长钽氧化物薄膜的电和介电性能