机译:电感耦合氯基等离子体刻蚀用于薄膜晶体管液晶显示器的铜膜
机译:氢稀释对电感耦合等离子体CVD制备的共面非晶硅薄膜晶体管性能的影响
机译:使用电感耦合等离子体源以低能量和高剂量率对多晶硅CMOS薄膜晶体管进行等离子注入氢化
机译:在电感耦合等离子体中氧化的多晶硅膜的性质及其对薄膜晶体管的影响
机译:使用氯气蚀刻多晶硅的电感耦合等离子体的计算机模拟。
机译:不同氟基混合气体使用电感耦合等离子体干法刻蚀钛酸钡薄膜的比较分析
机译:磁控溅射与电感耦合等离子体辅助磁控溅射对纸基板上Cu膜性能的影响。电感耦合等离子体辅助