George W. Woodruff School of Mechanical Engineering Georgia Institute of Technology, Atlanta, Georgia, 30332,AlpZhi ,Inc. 541 Tenth Street NW, Suite 121, Atlanta, Georgia, 30318;
AlpZhi ,Inc. 541 Tenth Street NW, Suite 121, Atlanta, Georgia, 30318;
George W. Woodruff School of Mechanical Engineering Georgia Institute of Technology, Atlanta, Georgia, 30332;
机译:演化控制周期控制曝光光刻技术的仿真研究
机译:带有字符投影技术的电子束光刻技术,用于高通量曝光和线边缘质量控制
机译:实时光刻技术的注册,曝光和聚焦控制-成功的框架
机译:用于曝光控制投影光刻的二维实时干涉监测系统
机译:用于监视和控制分布式工业操作的基于云的软实时系统:可行性研究
机译:利用基于AI的饮食管理解决方案和用于糖尿病管理的实时连续血糖监测系统验证数字综合医疗保健平台的有效性:随机对照试验
机译:实时监控和控制光刻中的关键尺寸。