0.8—1μm分步重复投影光刻机计算机实时控制系统接口设计

摘要

较详细介绍了０．８－１μｍ分步重复投影光刻机的主计算机时实时控制系统接口设计，所有接口均采用隔离措施，各种类型接口都具有方便的再扩展功能，接口软件用ＢｏｒｌａｎｄＣ＋＋语言编写，可方便调配组合用。