0.8～1μm分步重复投影光刻机主要机构控制系统研制

摘要

传输片、预对准、调平及预调焦系统是分步重复投影光刻机的重要组成部分,其精度和运行可靠性对分步重复投影光刻机的整机性能指标将产生重大影响.介绍了0.8～1μm分步重复投影光刻机传输片、预对准、调平及预调焦控制系统的组成及控制软件;分析了预对准、机械手上片、调平及预调焦的精度和运行可靠性,并给出了研制结果.