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基于双频激光干涉仪的投影光刻机工作台定位原理与故障分析

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摘要

介绍了双频激光干涉仪利用光的干涉和多普勒效应测距的原理以及距离的计算方法,并以此为基础介绍了双频激光干涉仪在投影光刻机工作台精确定位系统中的应用与工作原理,结合多年的投影光刻机维修经验分析了两例双频激光干涉仪及工作台系统的故障和解决步骤.

著录项

来源
《电子工业专用设备》|2016年第2期|27-30|共4页
作者
张文雅; 宋健;
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作者单位

中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄050051;

中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄050051;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光刻、掩膜;
关键词
投影光刻机; 双频激光干涉仪; 多普勒效应;

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