Process Module Development and Advanced Research LSI Logic Corporation, Gresham, OR;
机译:铜化学机械抛光中浆料选择性对电介质腐蚀和镀铜的影响
机译:低压柔性并五苯薄膜晶体管,具有经溶液处理的介电层和修饰的铜源漏电极
机译:金属氧化物半导体器件中以化学气相沉积作为栅介质的高k-Y {sub} 2O {sub} 3薄膜与硅集成的电流导率和介电行为
机译:铜抛光与k <2.8:挑战和解决方案的介电薄膜集成
机译:用于微电子应用的铜互连和介电膜的化学机械抛光。
机译:具有固溶处理的金属氧化物半导体和介电膜的可穿戴式1 V工作薄膜晶体管通过低温深紫外光退火在低温下制成
机译:用于低压柔性薄膜晶体管和集成逆变器电路的溶液处理的p型硫氰酸铜(I)