Department of Chemical and Energy Engineering, Yokohama National University, Tokiwadai, Hodogaya, Yokohama, Kanagawa, 240-8501, Japan;
Department of Chemical and Energy Engineering, Yokohama National University, Tokiwadai, Hodogaya, Yokohama, Kanagawa, 240-8501, Japan;
Department of Chemical and Energy Engineering, Yokohama National University, Tokiwadai, Hodogaya, Yokohama, Kanagawa, 240-8501, Japan;
Shizuoka Factory, Pre-Tech Co., Ltd., Oshima, Yaizu, Shizuoka, 425-0066, Japan;
机译:最小化晶圆表面电荷,以进行10 nm及以上的单晶圆湿法清洁
机译:单晶圆湿旋转工艺的晶圆表面充电模型
机译:单晶片技术在疏水表面上实现无水印高效喷雾清洁
机译:在单晶片湿式清洁器中旋转的晶片表面上的水运动
机译:比较JAWS表面清洁剂和常规表面清洁剂瓶对生命周期的影响。
机译:稳定的烷基苯磺酸盐表面活性剂的相互作用下水湿和油湿碳酸盐表面的纳米尺度高盐度和高温条件:QCM-D研究
机译:使用单晶圆,单室干/湿混合系统剥离和清洗高剂量离子注入光刻胶