ion beam hydrogenation; ECR hydrogenation; ion implantation; triple crystal diffractometry; admittance spectroscopy; ion damage; MOS structure; electron traps; strain profile; defect passivation;
机译:不完美单晶的不同天线-积分三晶体X射线衍射的理论和实验原理
机译:不完全单晶的微分积分三晶体X射线衍射的理论和实验原理
机译:使用高度平行的X射线微束通过衍射法估算绝缘体上硅薄层的结晶度
机译:通过纳米型光谱和X射线三晶衍射测定硅离子束和ECR氢化离子束和ECR氢化的实验研究
机译:砷化镓中镓/碳和铟/碳共注入引起的损伤的高分辨率三轴X射线衍射研究
机译:实验获得和计算机模拟的硅晶体X射线非共面18光束针孔形貌仪
机译:硅中微缺陷的双晶体和三晶体X射线衍射法
机译:从X射线衍射数据中对离子注入晶体中的二维晶格畸变进行高分辨率映射