Carl Zeiss SMT AG, Carl-Zeiss-Strasse 22, 73447 Oberkochen, Germany;
immersion lithography; high NA; catadioptric designs;
机译:电子投影光学系统从可变轴浸没透镜到使用可变轴浸没透镜的投影减少曝光的演变
机译:投影电子束光刻中浸没式磁透镜的优化设计
机译:深紫紫外线光刻分组设计方法
机译:用于浸入光刻的昏迷的透镜投影镜片
机译:微机械固体浸没透镜和光学天线,用于扫描近场光学显微镜。
机译:将原位光刻与3D打印固体浸没透镜相结合以实现单量子点光谱
机译:浸入式岩相双气体密封浸没装置的设计与实验研究
机译:使用数值孔径大于单位的透镜的光学投影光刻。