Institute of Microelectronics, Peking University, Beijing, 100871, China;
机译:于200°C沉积的原子层沉积氧化铝和二氧化钛超薄保护涂层的内聚和分层疲劳性能比较
机译:原子层沉积涂层对MEMS应用的影响:综述
机译:原子层沉积氧化膜作为保护界面层,用于集成石墨烯转移
机译:用于集成MEMS流量传感器的原子层沉积的保护涂层
机译:用于银和铜合金文化遗产物体的新型保护涂层,使用原子层沉积的金属氧化物阻挡膜制成。
机译:在200°C沉积的原子层沉积氧化铝和二氧化钛超薄保护涂层的内聚和分层疲劳性能比较
机译:通过过滤的阴极电弧沉积子层控制原子层沉积的氧化物涂层的界面,以改善腐蚀防护