Microwave Contactless Method to Measure the Nonequilibrium Carriers'' Effective Lifetime in Si Wafers

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• 来源
  《Microwave and Telecommunication Technology, 2006 16th International Crimean》|2006年|P.780-781|共2页
• 会议地点 SevastopolUkraine
• 作者

  I. A. Karpovich; A. V. Adakimchik; E. I. Kozlova; V. B. Odzhaev; O. N. Yankovsky;

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• 作者单位

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• 关键词

  carrier lifetime; microwave measurement; NEC effective lifetime surface distribution; Si; Si wafers; microwave contactless method; nonequilibrium carriers measurment;

  机译：载流子寿命微波测量； NEC有效寿命表面分布； ;硅晶片；微波非接触法非平衡载波测量;