軸方向放電励起CO_2 レーザーの短パルス発振における放電開始電圧特性

摘要

現在，産業応用に利用されている短パルスCO_2 レーザーは，繰り返し周波数500 Hz 以下で発振する小型装置（1 m~3以下）が多数である．繰り返し周波数500 Hz 以上で発振する装置は大型（約5 m~3）で高コストとなりビーム品質も低い．我々は，高繰り返し周波数において短パルス・高品質ビーム発振する小型装置の実現に向けて，軸方向放電励起CO_2レーザーの開発を行っている．