MOEMS; translatory micro mirror; FTIR spectrometer; Michelson interferometer; infrared spectrometry;
机译:微型傅里叶变换红外光谱仪中用于光程长度调制的平移记忆驱动器
机译:具有30 m光学元件的FTIR光谱仪及其在选择性和非选择性吸收光谱的灵敏测量中的应用
机译:用于生物医学应用的具有多方向控制能力的微加工光纤封闭式四电极IPMC执行器
机译:微型平移执行器在光学FTIR光谱仪中的应用
机译:用于内窥镜超高分辨率光学相干断层成像的表面和整体微机械加工二维角垂直梳状致动器扫描仪
机译:具有光学干涉读取和集成静电驱动的微机械加速度计
机译:P12 -OUT-平面翻译MEMS执行器,具有非凡的大冲程,用于小型化FTIR光谱仪中的光路长度调制
机译:利用高位移RaINBOW执行器设计和开发傅里叶变换光谱仪的光程差扫描机构