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【2h】

P12 -Out-of-plane Translatory MEMS Actuator with Extraordinary Large Stroke for Optical Path Length Modulation in Miniaturized FTIR Spectrometers

机译：P12 -OUT-平面翻译MEMS执行器，具有非凡的大冲程，用于小型化FTIR光谱仪中的光路长度调制

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作者
T. Sandner; T. Grasshoff; H. Schenk; A. Kenda;
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年度 2011
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