应用于ICP光谱仪的中阶梯光栅光谱仪色散系统分析

摘要

中阶梯光栅光谱仪具有分辨率高、体积小、精度高等优点,在ICP光谱仪中已得到广泛应用.随着光谱分析应用领域的不断拓展,对其分光模块-中阶梯光栅光谱仪也提出了更宽的工作波段、更高的光谱分辨率、更小的体积等越来越高的要求,针对这些挑战,出现了多种中阶梯光栅光谱仪的光路结构.本文从中阶梯光栅光谱仪出发,主要介绍中阶梯光栅光谱仪的发展现状,详细论述中阶梯光栅光谱仪色散系统的多种方式,讨论了各种色散系统的特点,为中阶梯光栅光谱仪的设计提供参考.