electronics packaging; elemental semiconductors; micromechanical devices; silicon; 3D MEMS package interconnections; Si; doped silicon; multistacking process; silicon direct bonding; size 34 mum; size 40 mum; size 50 mum; stacked package fabrication;
机译:使用晶圆间互连实现三维SOI-MEMS晶圆级封装
机译:高密度和贯穿晶片的铜互连和焊料凸点,用于MEMS晶片级封装
机译:超薄IC和MEMS元件:晶圆减薄,无应力分离,组装和互连的技术
机译:通过3D MEMS封装通过互连技术实现Si
机译:使用3D封装中的MEMS的RF电路的设计和自校准方案
机译:基于晶圆级MEMS真空封装的具有全玻璃电互连的高Q共振压力微传感器
机译:基于晶圆级mEms真空封装的具有穿透玻璃电气互连的高Q谐振压力微传感器
机译:微机电系统(mEms)和COTs mEms的互连和封装