biosensors; cantilevers; lead compounds; microsensors; porosity; thick film sensors; zirconium compounds; MEMS processes; PZT; PZT thick film cantilever; Young's modulus; actuating force; cantilever sensitivity; cantilever type biosensors; electromechanical characteristics; mass sensitivity; resonance force; screen printing method; thick film porosity;
机译:悬臂式生物芯片的丝网印刷光敏溶胶与普通溶胶相比渗透的厚膜厚膜的电学性能
机译:材料性能对压电PZT厚膜微悬臂梁作为传感器和自致动器的影响
机译:悬臂形Al / PZT / RuO_2生物传感器共振特性和灵敏度的计算机模拟
机译:PZT厚膜的孔隙率对悬臂式生物传感器的质量灵敏度和共振力的影响
机译:基于微倾斜板和微悬臂的共振质量传感器的灵敏度提高。
机译:用于传感和驱动的PZT厚膜的制备与表征
机译:PZT薄膜转导的微悬臂质量传感器的敏感性
机译:用于多功能复合材料中pZT执行器/传感器网络传感,控制和加固的CNT嵌入式粘合膜的设计。