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PZT压电薄膜的压电系数d_(31)的测量及其微悬臂梁简谐振动模拟

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摘要

介绍了一种应用微悬臂梁结构 ,简单直接测量其中压电薄膜PZT的横向压电系数d3 1的方法 .利用微悬臂梁器件本身和普通仪器 ,通过测量电压作用下微悬臂梁所产生的挠度值即可获得d3 1.还介绍了应用所测的d3 1对微悬臂梁的谐振进行有限元模拟的方法 ,及与振动实验结果的比较 .

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来源
《复旦学报：自然科学版》|2002年第2期|187-191|共5页
作者
周嘉; 黄宜平;
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作者单位

复旦大学微电子系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜测量与分析;铁电及压电器件;
关键词
PZT压电薄膜; 压电系数d31; 测量; 微悬臂梁; 简谐振动; 模拟; 压电材料;

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