AlN; DMMP; gravimetric gas sensor; piezoelectric;
机译:用于甲基膦酸二甲酯(DMMP)检测的基于SnO_2的厚膜气体传感器的回收率提高
机译:使用高压缩应变AlN /蓝宝石模板对厚AlN膜的氢化物气相外延抑制裂纹产生
机译:具有组装好的碳纳米管薄膜的柔性气体传感器,用于DMMP蒸气检测
机译:使用基于50nm厚AlN膜的微悬臂梁进行DMMP蒸气检测
机译:原子清洁的氮化镓(0001)和氮化铝(0001)薄膜的制备,表征以及通过碘汽相生长沉积厚的氮化镓薄膜。
机译:蓝宝石衬底上具有纳米尺度厚AlN成核层的高质量无裂纹AlN薄膜的异质外延生长用于基于AlGaN的深紫外发光二极管
机译:基于SnO2的DMMP厚膜气体传感器的制造