ポリイミド膜のクリープによるMEMS可動部の経時変形

摘要

ポリイミド膜を構成材料として含むMEMSダイアフラムを例にして，ポリイミド膜のクリープがMEMS可動部の経時変形に与える影響を検討した。粘弾性体であるポリイミド膜をMEMSの可動部に用いると，ポリイミド膜のクリープよって可動部が経時変形することがわかった。クリープの影響を抑制するには，ポリイミド膜の膜厚および弾性率を低減することが効果的である。