マイクロ波加熱式水熱合成プロセスによるニオブ酸カリウム－ナトリウム膜の堆積と組成制御

摘要

ニオブ酸カリウム（KNbO3）を基とした種々のペロブスカイト型圧電材料が、その優れた分極·圧電特性、高い キュリー温度、低環境負荷といった観点から注目されている。これらの材料が含有するアルカリ金属成分の揮発を抑 制しつつ緻密な材料を製造する手法として、近年、水熱合成反応を利用した材料製造プロセスが提案されており、厚 さ数μm～約百μm までの(K,Na)NbO3 配向体材料がプロセス温度180～240°Cという低温で作製できることを我々は報 告してきた。更に我々は最近の研究において、材料製造プロセス時間の大幅な短縮を目的としたマイクロ波加熱式 水熱合成プロセスを提案し、数十分の反応による(K,Na)NbO3 固溶体厚膜の製造が可能であることを明らかにした。 本発表では、マイクロ波加熱式水熱合成による(K,Na)NbO3 固溶体の製造における組成制御性について報告する。