半導体マイクロ波源を搭載したフロー型マイクロ波リアクターの 開発とその応用

摘要

筆者らはフローケミストリーへの適用を想定した、マイクロ波化学反応装置の開発 を進めている1) (fig.1)。本装置は、チューブ状の反応管(Fig.2)に沿って均一な電場を形 成するため、照射するマイクロ波周波数を微調整できる半導体マイクロ波源を用いて いる。本装置は試料の誘電率変化や温度変化を検出し、マイクロ波周波数、電力をフ ィードバック制御することで再現性のよい反応制御が可能となっている。