プラズマスパッタ型イオン源の運転履歴に伴う引き出しイオン種の変化

摘要

反応性ガスを用いるプラズマスパッタ過程では，イオン源の運転時間に伴い内部壁面状態が変化する．それは反応性ガスとターゲット材料の相互作用により生成される化合物層形成に由来する．本研究では化合物として窒化アルミニウム（AlN）を採用し，窒素ガス雰囲気中でのAl ターゲットのスパッタ過程におけるイオン源の運転履歴と引き出しイオン種の相関性の調査を実施した．