金属酸化物半導体を用いた水銀蒸気センサの開発

摘要

1．緒言　近年、大気中へ放出される水銀（Hg）蒸気の削減がますます求められるようになっている。水銀蒸気の測定には原子吸光法等の装置が用いられているが、機器が高価である。これに対し、安価な水銀蒸気センサがあれば様々な場所で水銀濃度をモニタリングし水銀漏えい防止策をとることが可能になる。