エアロゾルデポジション法で作製したAl2O3 膜の 接合強度試験後の破断部評価（２）

摘要

エアロゾルデポジション（AD）法で作製したAD 膜／基材接合体の破壊挙動は，十分に調査されていない。 前回の第30 回秋季シンポジウムでは，膜面垂直方向の引張接合強度試験後のAD-Al2O3 膜／Cu 基材接合体の 破断部には，（１）Al2O3 膜／Cu 基材間，（２）Al2O3 膜内，（３）Cu 基材内の破断が混在し，その総面積割合 はおおよそ6 割：2 割：2 割程度であったと報告した[1]。本報告では，接合体の破壊挙動を推定するため，各 破断の領域の総面積割合に加え，その大きさと分布を調べた。