离子束辅助沉积制备Al／Al2O3双层膜及其性质

摘要

利用离子束辅助沉积的方法在ＣＫ４５号钢和ＡｌＴｉ合金基体上制备了具有不同厚度Ａｌ层或Ａｌ２Ｏ３层的Ａｌ／Ａｌ２Ｏ３双层膜系统，Ａｌ与Ａｌ２Ｏ３层之间是厚度为１００ｎｍ的梯度界面层，利用电化学方法测量了样品在近中性水溶液中耐腐蚀性能，实验中还测量了样品的表面硬度和耐摩擦性能，研究了双层膜系统中Ａｌ或Ａｌ２Ｏ３层厚度变化对样品物理性质和化学性质的影响。