エアロゾルデポジションによるα－アルミナ膜の作製と構造的，機械的特性の評価

摘要

エアロゾルデポジション法は（以下，AD方法）は，固休微粒子をガスと混合させてエアロゾル化し，ノズルを通して基板に噴射することでセラミックや金属など様々な種類の皮膜形成を実現する成膜手法である。基板に吹き付ける微粒子を溶融，あるいは半溶融状態にするのではなく，固体状態のまま常温で基板に衝突させて緻密な膜を形成でき，常温化で金属やセラミックなどの様々な種類の皮膜が高速成膜できる。