ダブル電子ビーム PVD法による複合酸化物からなる多相積層 EBCの 形成

摘要

SiC 繊維強化 SiC 複合材料（SiC/SiC）を次世代航空機エンジンの高温燃焼ガスに曝される環境に適用する ためには、耐環境性コーティング（EBC）が不可欠となる。EBC には優れた環境遮蔽性と熱機械的耐久性が 要求されるため、各層毎に役割を分担させた多相積層構造（各層の役割は SiC/SiC基板から順に、基板との結 合／酸素遮蔽／水蒸気遮蔽·揮散防止／熱衝撃緩和）を有しており、EBC 全体として優れたパフォーマンス を発現させる。