電気泳動ゾルゲルコーティング/アノード酸化によるエッチドアルミニウム箔上へのAl－Nb複合酸化物皮膜の形成とその誘電的性質

摘要

アルミニウムのアノード酸化皮膜を誘電体として用いる電解コンデンサは，電子機器に不可欠なデバイスである．昨今の電子機器の小型化にともない，アルミニウム電解コンデンサの小型化，高容量化が望まれている，発表者らは、これまでの研究において，電解研磨したアルミニウム箔上に電気泳動ゾル－ゲルコーティングを用いてNb_2O_5を被覆したのちアノード酸化することにより，高い誘電率を有するAl-Nb複合酸化物皮膜の形成に成功している．本研究においては，電気泳動ゾル－ゲルコーティングを用いてエッチドアルミニウム箔上に均一なNb_2O_5被覆を試みるとともに，Nb_2O_5被覆試料のアノード酸化により得られる皮膜の誘電的性質について検討した．