圧電薄膜駆動型超音波振動子アニュラーアレイによる超音波ビーム形成

摘要

本研究では、超音波トランスデューサアレイによる送信音圧の改善および超音波ビームの形成について、エピタキシャルPZT／SrRuO_3（SRO）／Pt／γ-Al_2O_3／Si構造を用いたアニュラーアレイを製作し有限要素解析結果との比較検討を行った。