(424-469)パルス通電によるニオブナノ接点非晶質化のその場電子顕微鏡観察

摘要

電子回路や電気機械システムの高集積化では、素子だけでなく素子同士を接続する接点や配線の微細化が必要になる。現在、この微細化はナノメートルサイズに達し、こうした微細接点（ナノ接点）の研究を進めることが金属学分野で期待されている。これまでナノ接点の構造は、機械的変形やエレクトロマイグレーションなどのこの構造固有の技術を利用して制御されてきた。最近では、高融点純金属のナノ接点にナノ秒幅のパルス波を印加し、接点部を急熱·急冷して純金属非晶質相を形成させる新たな手法が試みられている[1-3]。また、こうした構造制御に加えて体心立方構造をもつ金属ナノ接点が非晶質化したときの電気伝導特性についても報告されている[2, 3]。しかし、純金属ナノ接点の非晶質化の過程の詳細やその程度、機械強度などについては不明のままであり、より多くの種類のナノ接点における非晶質化の調査が求められている。本研究では、これまでに調べられていない高融点金属の一つであるニオブ（Nb）のナノ接点に注目した。この接点のパルス波印加時の構造変化挙動をその場透過型電子顕微鏡法により観察し、各構造における電気伝導特性を評価した。