Design und Herstellung eines akustischen Wandlers mit einer Polymermembran

摘要

Am Institut fur Mikroproduktionstechnik (IMPT) der Leibniz Universitat Hannover wird die Verwendung von Polyimiden fur die Verwendung als Membranmaterial eines akustischen Wandlers untersucht. Fur die Durchfuhrung der Untersuchung wird ein Mikrofon am IMPT entwickelt und gefertigt. Dieser Beitrag beschreibt die Prozessentwicklung, die Auslegung und die dunnfilmtechnische Fertigung eines akustischen Wandlers als Prototyp. Der akustische Wandler basiert auf dem kapazitiven Prinzip und entspricht im Aufbau idealisiert einem Plattenkondensator, wobei eine Elektrode starr und die andere beweglich durch eine freischwingende Membran dargestellt werden. Die dunnfilmtechnische Fertigung beinhaltet auch die Etablierung von Prozessen, um die vertikale Beweglichkeit der Membran zu gewahrleisten.