分子ふるいセンサによるブタル酸ジオタテルの検出 2：メソポーラスシリカ摘集剤の利用

摘要

半導体電子素子の製造工程では1mug m~(-3)程度のフタル酸ジアルキル類が製品の品質に悪影響を及ぼすとされ、簡便な検出法が求められている。Pd/SnO_2など半導体化学センサは空気中に存在する有機物を迅速かつ簡単に検出することができるので、電子素子製造工程でのフタル酸ジアルキル類の検出にも適用できると期待される。しかしPd/SnO_2センサは全ての還元性の気体に応答するので、トルエンなどの有機溶剤が混在する製造興場（クリーンルーム）において低濃度のフタル酸ジアルキル類を検出することは不可能である。