磁気ディスクマイクロ摩耗部のフォースモジュレーション法による粘弾性評価

摘要

マイクロマシン，磁気ディスク装置などのマイクロトライボロジーに関する信頼性を確保するため，極表面層の表面改質技術が重要になっている．中でも磁気ディスク装置において，記録の高密度化を実現するためには磁気ディスクと磁気ヘッドの隙間の低減が最重要課題となっている．そのため，保護膜の厚さ低減および接触における耐久性が求められている．本研究では，磁気ディスク保護膜上の潤滑剤に各処理を行い，その粘弾性特性に与える影響を明らかにした．