フロッグレッグ形アームをもつロボットにおけるハンド先端軌跡に及ぼす関節誤差の影響

摘要

現在，半導体のウェハ製造ラインは集積度が高まり,製品の工程数増加に伴う搬送距離の増大とウェハ素材の大径化による搬送重量の増加により搬送の自動化のニーズが高まっている.自動化には半導体のウェハを正確かつ高速に運ぶことが必要であり,ロボットアームを用いた搬送装置はなくてはならないものとなっている.ロボットアームの誤差解析に関する研究としては3 自由度をもつ水平面内を動くアームの軌道計画や誤差学習を用いたアームの終端状態制御が行われてきたが,フロッグレッグ形アームをもつロボットに関する誤差解析は，筆者の探した範囲では見つからなかった.そこで,本研究ではフロッグレッグ形アームをもつロボットを機構解析ソフトウェア上でモデル化し,アーム関節の加工穴の位置誤差をモデルに組み込hだときのハンド先端軌跡の変化を観察し,要求されるハンド先端の位置精度を満たすためにロボットアームを設計するときに指定すべき公差の限界について検討する.