AFM による銅スパッタ膜のナノ加工における切りくず生成機構

摘要

ナノスケール加工のメカニズムを解明するための基礎研究の一環として，原子間力顕微鏡探針を切れ刃として用いた銅スパッタ膜の1～16μN の極微小法線荷重下での定荷重ナノスケール溝加工実験を行い，材料除去及び切りくず生成機構について検討した．また，FE-SEM を用いた微視的観察などからナノスケール切りくずの生成挙動を明らかにしたので報告する．