画像情報援用マイクロ加工機の開発

摘要

CCDによる画像からの画像フィードバックを用いるマイクロ旋盤システムにより，工具であるダイヤモンド工具の先端位置の直線駆動と円駆動の軌道制御を行なった．また，実際の大気中での切削実験により，本システムのような剛性の低いマイクロ旋盤においても従来のNC 制御のような加工を行なうことができた．