三次元アトムプローズ（3DAP）

摘要

金属材料に加工熱処理を施すと，結晶粒径や相変化などのmu mスケールでの組織変化に加えて，nmスケールの組織変化が力学特性や組織形成に大きく影響することが古くから知られており，先端組織解析手法の発達によりその詳細が明らかとなってきている。三次元アトムプローブ（3DAP）測定法とは，1nm以下の空間分解能を有しかつ個々の原子種を区別することのできるナノ組織解析法の一つであり，近年では，金属材料や半導体のみならず有機材料にも適用分野が広がっている．本稿では，3DAP測定の原理及び鉄鋼材料への適用例を紹介する.