三维原子探针(3DAP)介绍

摘要

材料的性能与显微组织结构密切有关，而显微组织结构又决定于材料的成分和加工工艺．在开发高性能先进材料的过程中，正确利用现代分析仪器对显微组织结构进行观察研究是非常重要的．三维原子探针（3DAP）是在场离子显微镜（FIM）基础上发展起来的一种分析技术，在FIM样品尖端叠加脉冲电压使原子电离并蒸发，用飞行时间质谱仪测定离子的质量／电荷比来确定该离子的种类，