アクティブスクリーンプラズマ窒化処理を施したオーステナイト系ステンレス鋼へのDLCコーティング

摘要

ダイヤモンドライクカーボン（DLC）はその高硬度、低摩擦係数、優れた耐摩耗性や生体適合性から、ハードディスクドライブの部品や医療分野への応用など幅広く利用されている。しかし、DLCのような硬質薄膜は、高い内部応力を持つために膜と基材との密着性が乏しくなることが欠点とされている。そのために、基材強化や膜と基材との間に中間層を加えることによって密着性の改善が図られている。基材強化の方法は、基材表面に強加工を与える、窒化や浸炭などで表面の組織を変化させるといったものがある。窒化法の一種であるアクティブスクリーンプラズマ窒化（ASPN）は、従来のプラズマ窒化で問題とされているエッジ効果やアーキングといった均一に処理されないという現象を解決する方法として注目されている。そこで本研究では、汎用性の高いオーステナイト系ステンレス鋼にASPN処理とDLC成膜の複合処理を行い、その性質を調査することを目的とした。