(PS170)ステンレス鋼におけるアクティブスクリーンプラズマ窒化前処理を施したDLC の摩擦特性

摘要

DLC はトライボロジー特性に優れた硬質皮膜であるが、皮膜を形成する際の基材との密着性はそれらの物性の整合性に影響される。そのため、窒化や浸炭といった基材を硬化する処理と組み合わせた複合処理を施すことで、整合性改善の取り組みがなされている。窒化法の一種であるアクティブスクリーンプラズマ窒化(ASPN)は、従来のプラズマ窒化である直流プラズマ窒化(DCPN)で問題とされているエッジ効果やアーキングといった均一に処理されない現象を解決する方法として注目されている。