(PS170)ステンレス鋼のアクティブスクリーンプラズマ窒化処理における窒化層形成

摘要

新しい表面改質処理法の一種であるアクティブスクリーンプラズマ窒化(ASPN)処理法は、従来の直流プラズマ窒化(DCPN)処理で生じるエッジ効果などの問題を、品物を絶縁して処理することで解消した高品質な窒化処理法である(1)。しかし、ASPN 処理法は工業的な実用化に向けて様々な課題が残されている。