極薄圧電ひずみセンサを用いたフレキシブルセンサアレイシートの開発

摘要

本研究では長さ5mm，幅lmm，厚み5μmの長大·極薄圧電ひずみセンサをポリイミド基板に40mmのピッチで3x3のアレイ状に9個実装してフレキシブルひずみセンサ アレイを作製し，ステンレス板に貼り付けてセンサの動作を確認した。センサの実装プロセスに関しては，実装機による極薄センサチップの連続的な位置合わせ転写と機能性ペーストのスクリーン印刷による配線接続を用いて，フレキシブルセンサアレイ製造手法を確立した。ひずみセンサァレイを貼り付けたステンレス板に荷重を加える試験で は，各センサから板の変形挙動に基づいた出力電圧が発生したので，センサアレイの正常な動作を確認した。この結果から，作製したフレキシブル圧電ひずみセンサアレイのインフラ構造体の広範囲なひずみ分布を簡便にモニタリン グできるデバイスとしての応用の可能性が示された。